Откачной пост электровакуумных приборов

Вакуумная техника – прикладная наука, её использование в различных областях трудно переоценить. В электронной технике вакуум является необходимым для работы осветительных, генераторных, приёмно – усилительных ламп и СВЧ – приборов.

Вакуумный откачной пост компании ПРОИНТЕК предназначен для проведения   высоковакуумной штенгельной откачки и обработки электродов электровакуумных приборов (далее – ЭВП).

Пост позволяет реализовать полный цикл технологических процессов откачки и обезгаживания  ЭВП, в том числе:

– вакуумная откачка ЭВП;

– высокотемпературный отжиг ЭВП;

– тренировка электродов ЭВП;

– измерение электрических и тепловых параметров ЭВП;

– снятие электрических характеристик ЭВП.

Вакуумная система поста выполнена по трехступенчатой схеме с использованием безмасляных средств откачки и включает в себя спиральный, турбомолекулярный и магниторазрядный вакуумные насосы. Это решение позволяет получать высокий и сверхвысокий чистый вакуум, свободный от остаточных паров углеводородов.

Рабочая камера поста выполнена в виде вертикально расположенного водоохлаждаемого колпака, внутри которого размещены футеровка и нагревательные элементы. Камера оснащена тремя смотровыми окнами, расположенными на передней и боковых стенках колпака. Окна предназначены для визуального наблюдения за ЭВП и измерения температуры катодов пирометром.

В состав поста входят низковольтные (питание подогревателей катодов) и высоковольтные (питание электродов ЭВП) специализированные источники питания, которые применяются как для проведения тренировки электродов ЭВП, так и для измерений параметров и снятия характеристик ЭВП.

Система управления поста имеет двухуровневую структуру. Первый уровень выполнен на базе программируемого логического контроллера с необходимыми модулями ввода/вывода. На втором уровне используется промышленный компьютер.

Система управления обеспечивает управление постом в полуавтоматическом и автоматических режимах и позволяет осуществлять:

– управление температурой и скоростью нагрева и остывания подколпачного пространства рабочей камеры по заданной программе;

– управление откачкой  изделий по заданной программе;

– регулировку, контроль, поддержание заданных значений токов и напряжений при проведении тренировок электродов, а также измерений параметров и снятии характеристик ЭВП.

Основные технические характеристики

1. Тип поста – однокамерный, однопозиционный, периодического действия, с подъёмным колпаком и радиационно – конвективным нагревом.
2. Количество одновременно откачиваемых (обрабатываемых) ЭВП, шт. – не более 4.
3. Общий откачиваемый объем ЭВП, л – не более 2.
4. Общий вес садки, кг – не более 1,5.
5. Предельное давление в системе вакуумной без нагрузки, после прогрева, мм рт. ст. – не более 1*10^–9.
6. Время достижения предельного давления в системе вакуумной без нагрузки, мин – не более 60.
7. Погрешность измерения датчиков вакуума, %:

• в диапазоне от 7,5*10^–9 до 7,5*10^–3 мм рт. ст.– не более 15;
• в диапазоне от 7,5*10^–3 до 750 мм рт. ст.– не более 25.

8. Приведенная погрешность измерений напряжений в цепи подогревателя катода, % – не более 0,1.
9. Приведенная погрешность измерений токов в цепи подогревателя катода, % – не более 0,3.
10. Приведенная погрешность измерений напряжений в цепи высоковольтного источника, % – не более 0,6.
11. Приведенная погрешность измерений токов в цепи высоковольтного источника, % – не более 0,1.
12. Дискретность измерения времени спада тока эмиссии при проведении качественной оценки эмиссионной активности катода, с – не более 0,1.
13. Внутренние размеры рабочей камеры, мм:

• длина – 600;
• ширина – 600;
• высота – 500.

14. Количество смотровых окон рабочей камеры, шт – 3.
15. Размеры смотровых окон рабочей зоны камеры, мм:

• длина – 280;
• высота – 130.

16. Количество токовводов в рабочую зону камеры, шт. – 16.
17. Максимальная температура нагрева, °С – не более 500.
18. Точность поддержания температуры в установившемся режиме при температуре 400÷500 °С, °С – не более ± 5.
19. Скорость остывания колпака камеры рабочей, °С/мин  – от 7 до 15.
20. Суммарная погрешность системы измерения температуры рабочего пространства камеры в объеме, максимально приближенном к макету, % – не более 1.
21. Диапазон измерений в цепи подогревателя катода:

• напряжение, В – от 0 до 30;
• ток, А – от 0 до 10.

22. Диапазон измерений в цепи катод – электрод (анод или сетка):

• напряжение, В – от 0 до 2000;
• ток, mА – от 0 до 300.

23. Диапазон измерений при определении токов утечек:

• напряжение, В – от 0 до 2000;
• ток, mА – от 0 до 1.

24. Количество источников питания подогревателя катода, шт – 4.
25. Количество высоковольтных источников питания, шт – 4.
26. Максимальная потребляемая мощность, кВ•А –20.
27. Габаритные размеры поста в составе с шкафом управления и рабочим местом оператора, мм:

• ширина – 3000;
• глубина – 1600;
• высота –2200.