Установка контроля характеристик эмиссионных материалов

Установка предназначена для измерения термоэмиссионных и вторичноэмиссионных характеристик образцов катодных материалов (ОКМ) в производстве СВЧ приборов.

Технические характеристики

1. Тип установки - однокамерная, двухпозиционная:

• позиция контроля вторичноэмиссионных характеристик эмиссионных материалов;
• позиция контроля термоэмиссионных характеристик эмиссионных материалов;
• внутренние размеры камеры (ШхВхГ), мм – 400х700х400.

2. Количество одновременно испытуемых ОКМ – один. Поочередное измерение термо- и вторичной эмиссионных характеристик ОКМ без разгерметизации камеры.
3. Максимальные габариты ОКМ:

• диаметр 10 мм;
• высота   3 мм.

4. Максимальная температура нагрева ОКМ на позиции термоэлектронной эмиссии - 1700°С.
5. Максимальная температура нагрева ОКМ на позиции вторичной электронной эмиссии - 1200°С.
6. Точность поддержания температуры нагрева ОКМ в установившемся режиме в диапазоне 25…800°С не хуже  ± 5° С.
7. Точность поддержания температуры нагрева ОКМ в установившемся режиме в диапазоне 800…1700°С не хуже ±10°С.
8. Диапазон задания скорости изменения температуры ОКМ  - 1…100°С/мин.
9. Количество  линейных  участков  задания  температуры  на графике технологического процесса в автоматическом режиме работы не менее – 8.
10.  Контроль температуры ОКМ пирометром и вольфрамрениевыми термопарами.
11.  Предельный вакуум в камере – 2,6 х 10^-5 Па (2 х 10^-7 мм. рт. ст.).
12.  Три канала напуска технологических газов (аргон, азот, двуокись углерода). Применение других газов возможно при введении поправочных коэффициентов, приведенных в описании регуляторов давления.
13.  Параметры луча первичных электронов при измерении вторичной эмиссии ОКМ:

• энергия луча первичных электронов при измерении вторично-эмиссионных свойств ОКМ регулируемая в пределах – 50…5 000 эВ;
• ток луча первичных электронов регулируемый в пределах – 1нА … 100,0 мкА;
• стабильность энергии первичных электронов не хуже  ± 0,5%;
• стабильность тока луча первичных электронов не хуже  ± 0,5%;
• диаметр пятна луча электронной пушки в пределах - 1,0 … 10,0 мм.

14.  Нагрев держателя ОКМ на позиции вторичной эмиссии радиационный.
15.  Нагрев держателя ОКМ на позиции термоэлектронной эмиссии радиационный и электронной бомбардировкой.
16.  Регулируемый источник 0…2000 В для нагрева ОКМ электронной бомбардировкой.
17.  Регулируемый источник 0…1500 В и максимальным током 10 А для снятия эмиссионных характеристик ОКМ на позиции термоэлектронной эмиссии.
18.  Регулируемый источник 0…125 В для питания коллектора позиции вторичной электронной эмиссии.
19.  Пикамперметр А2-4 для снятия эмиссионных характеристик ОКМ на позиции вторичной электронной эмиссии.
20.  Контроль эмиссионных характеристик ОКМ проводится в соответствии с разрабатываемой для каждого конкретного образца программой в полуавтоматическом или автоматическом режимах.
21.  Габаритные размеры установки, мм:

• ширина – 1763;
• длина – 2709;
• высота – 1968.

22.  Габаритные размеры составных частей, мм:

• модуль откачки   1615×1000×790;
• блок подготовки газов   650х270х210;
• модуль управления 1200×600×800;
• модуль технологический 1200х600х1968;
• замкнутая система двухконтурного охлаждения (чиллер с блоком подготовки воды) 1000х580х900.

23.  Масса, кг, не более – 1700.
24.  Потребляемая мощность, кВА – 12.