Установка ионного травления и плазменного напыления тонких плёнок

Тонкие пленки – слой вещества, толщиной от нескольких монослоев до нескольких микрон, представляющий собой термодинамически стабильную или метастабильную часть гетерогенной системы, занимающей промежуточное положение между отдельными молекулами или макромолекулами и объемными компонентами твердого тела. Они играют очень важную роль в современной технике и их значение в научно-техническом прогрессе невероятно велико.

Материал и свойства самой поверхности подложки, а также условия формирования вещества на поверхности подложки в значительной степени определяют свойства материалов в тонкопленочном состоянии.

Ионно-плазменное напыление – разновидность катодного способа нанесения материала на поверхность изделия. Процесс производится путем бомбардировки подложки ионами плазменного вещества газовым разрядом.

Установка ионного травления и ионно–плазменного напыления тонких плёнок компании Проинтек позволяет формировать на подложках тонкие слои материалов.

Установка является технологическим оборудованием и предназначена для проведения в едином вакуумном цикле процессов ионного травления и ионно – плазменного напыления тонких плёнок на торцевые поверхности в плазме азота.

Система управления выполнена на базе промышленного контроллера и сенсорной панели управления и обеспечивает возможность проведения технологического процесса в режимах ручного и полуавтоматического управления по заданной программе.