Установка прокалки катодов
Установка предназначена для вакуумного отжига (прокалки) катодов в соответствии с технологическим процессом.
Основные технические характеристики
- Тип установки - многопозиционная, однокамерная, периодического действия с фронтальной загрузкой.
- Способ загрузки - в технологической оснастке.
- Объём рабочей камеры - 38 л.
- Количество одновременно обрабатываемых катодов - 19 шт.
- Предельное давление в камере (без нагрузки) - 5×10⁻⁸ Торр.
- Время достижения предельного давления (без нагрузки) - 40 мин.
- Потребляемая мощность - не более 13 кВА
- Рабочая камера имеет водоохлаждаемую конструкцию. Оснащена смотровым окном для визуального контроля и пирометрирования.
- Вакуумная система имеет трёхступенчатую схему откачки:
- спиральный насос (форвакуумная ступень);
- турбомолекулярный насос (высоковакуумная ступень);
- магниторазрядный насос (сверхвысоковакуумная ступень).
- Система электропитания имеет 4 источника питания катодов.
- Параметры источников:
- максимальное напряжение - 30 В;
- максимальный ток - 70 А;
- мощность - 400 Вт;
- дискретность задания параметров - 1 мВ / 10 мА.
- Система управления реализована на базе промышленного ПЛК (логического контроллера). Управление осуществляется через сенсорную панель.
- Режимы работы:
- ручной (настройка параметров оператором);
- полуавтоматический (выполнение процесса по заданной программе).
- Система охлаждения имеет отдельно стоящий чиллер с водяным охлаждением конденсатора.
- Контроль параметров охлаждающей воды осуществляют датчики протока и датчики температуры.
Система охлаждения выполняет автоматическое отключение установки при недостаточном охлаждении.
