Установка контроля эмиссионных параметров катодов ЭВП

Контроль эмиссионных параметров катодов – необходимая составляющая процесса при создании современных  и перспективных типов электровакуумных приборов. Качество этих приборов в основном определяется долговечностью и надежностью катодных систем.

Установка компании ПРОИНТЕК позволяет автоматизировать технологические операции контроля эмиссионных параметров катодов. Такими операциями являются:

1. Получение вольт-амперных характеристик – зависимостей тока эмиссии катода при изменении напряжения на аноде и постоянном напряжении на подогревателе катода. При этом напряжение питания анода может быть или постоянным или импульсным.
2. Получение недокальной характеристики катода - зависимости тока эмиссии от напряжения накала катода (температуры катода) при неизменной величине импульсного напряжения между катодом и электродом, на который отбирается ток.
3. Контроль токов утечек в цепях между двумя выбранными электродами. При этом полярность постоянного напряжения между этими электродами может быть как положительной, так и отрицательной.

Предусмотрена возможность комплектации установки внешними приборами для измерения температуры катода и давления остаточных газов в контролируемых изделиях.

Установка контроля эмиссионных параметров катодов включает в себя стойку, в которой размещаются управляемые источники питания, станция технологического управления Advantix, система сбора данных/коммутации Agilent, силовой блок, блоки коммутации, а также электромеханический замыкатель для снятия высокого напряжения. Рядом со стойкой установлен  стол оператора, на котором располагаются рабочая камера, монитор, манипулятор типа «мышь» и стандартная клавиатура. Предусмотрена возможность подключения принтера.

Рабочая камера предназначена для размещения и подключения контролируемых изделий. Она выполнена из прозрачного материала для наблюдения за изделиями в процессе испытаний. Изделия располагаются на встроенном в рабочую камеру столике. Камера оснащена клеммами и специальными проводами для подключения испытуемых изделий.

Основные технические характеристики

1. Напряжение питания анода постоянное/импульсное, регулируемое. Диапазон, В – от 0 до 600 («низковольтный») и от 600 до 12000 («высоковольтный»). Максимальный ток, мА - 300 («низковольтный» источник), - 500 («высоковольтный»). Для импульсных измерений максимальный ток, А соответственно 1 и 5. Дискретность установки напряжения, В – 3.
2. Напряжение питания электродов при измерении утечек (постоянное, регулируемое, полярность – положительная/отрицательная), В – от 0 до 600 («низковольтный» диапазон), от 600 до 10 000 («высоковольтный» диапазон). Максимальный ток, мА – 30. Дискретность установки напряжения, В – 10.
3. Напряжение питания подогревателя катода (постоянное, регулируемое), В – от 0 до 50. Дискретность установки напряжения, В – 0,01. Максимальный ток, А – 50.
4. При импульсных измерениях формирование импульсов положительной полярности.  Длительность (регулируемая), мкс – от 1 до 10. Дискретность установки, мкс – 0,1.   Длительность фронта и среза импульса, мкс – не более 0,2. Частота следования (регулируемая), кГц – от 0,1 до 10. Дискретность установки, кГц - 0,01;
5. Потребляемая электрическая мощность (максимальная), кВт – не более 12.

Управление установкой осуществляется в рабочем автоматизированном режиме и в режиме техобслуживания (наладки).

Результаты измерений представляются на экране монитора в табличной и графической формах в реальном масштабе времени в ходе проведения испытаний. После завершения заданной измерительной операции, полученные данные сводятся в единую таблицу и записываются в файл формата Microsoft Excel с построением графиков характеристик, соответствующих выполненной операции. Все результаты измерений в табличной и графической формах сохраняются в памяти промышленного компьютера с возможностью последующего анализа.