Установка парофазного осаждения тугоплавких металлов

Установка парофазного осаждения тугоплавких металлов предназначена для нанесения вольфрамовых покрытий на внутренние поверхности цилиндрических, наружные поверхности трубчатых и одну из боковых поверхностей плоских заготовок конструкционных деталей электровакуумных приборов методом парофазного осаждения. Она оснащена системой приготовления и подачи парогазовой смеси.

Основные технические характеристики

1. Тип установки – двухкамерная, периодического действия, с двумя поочередно работающими реакторами осаждения.
2. Способ загрузки изделий – в технологической оснастке.
3. Количество одновременно обрабатываемых оснасток - 1 шт.
4. Материал осаждаемого покрытия вольфрам толщиной не более 3мм.
5. Количество и тип реакторов осаждения вольфрама:

• на цилиндрические заготовки – 1шт;
• на трубчатые заготовки – 1шт;
• на боковые поверхности плоских заготовок – 1шт.

6. Габариты рабочей зоны реактора для осаждения вольфрама на цилиндрические заготовки:

• диаметр, мм – 90;
• высота, мм – 150.

7. Габариты рабочей зоны реактора для осаждения вольфрама на трубчатые заготовки:

• диаметр, мм – 40;
• высота, мм – 90.

8. Габариты рабочей зоны реактора для осаждения вольфрама на боковые поверхности плоских заготовок:

• длина, мм – 155;
• ширина, мм – 50;
• высота, мм – 155.

9. Рабочая температура реакторов в зоне осаждения, 500 ÷ 580 ºС.
10. Печь довосстановления вольфрама, с температурой 580 ÷ 600 ºС.
11. Точность поддержания температуры реакторов для осаждения вольфрама на заготовки - ± 5 ºС.
12. Рабочая среда: аргон, водород, смесь водорода с парами гексафторида вольфрама.
13. Расход аргона при продувке – 50 ÷ 250 л/ч.
14. Расход водорода при продувке - 50 ÷ 250 л/ч. 
15. Расход водорода (канал газ-носитель) - 50 ÷ 250 л/ч.
16. Тип реагента – гексафторид вольфрама (WF₆).
17. Расход паров реагента, л/ч – 2 ÷ 20.
18. Имеется генератор низкочастотных колебаний давления парогазовой смеси, с регулируемой частотой излучения 1÷5 Гц.
19. Система управления контролирует, индицирует и архивирует параметры техпроцесса в ручном и полуавтоматическом режимах.
20. Потребляемая электрическая мощность не более, кВА – 12.
21. Габаритные размеры установки, мм:

• длина – 3600;
• ширина – 1300;
• высота – 2900.

22. Масса установки, кг – не более 1500.
23. Питание – четырехпроводная трехфазная сеть переменного тока напряжением 380 В частотой 50 Гц с нулевым проводом.